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更安全更穩(wěn)定的真空,交給英格索蘭NASH真空系統(tǒng)!

更新時間:2021/7/9       瀏覽:48次

功率半導(dǎo)體是制造業(yè)核心基礎(chǔ)器件,是支撐經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè),隨著汽車電動化、智能化、網(wǎng)聯(lián)化等發(fā)展,汽車電子迎來結(jié)構(gòu)性變革機(jī)會。株洲中車時代電氣是中國中車旗下企業(yè),產(chǎn)業(yè)涉及高鐵、機(jī)車、城軌、軌道工程機(jī)械、通信信號、大功率半導(dǎo)體、傳感器、海工裝備、新能源汽車、環(huán)保、通用變頻器等多個領(lǐng)域。一直以來,NASH的品牌和專業(yè)服務(wù)在株洲中車時代電氣得到了深度認(rèn)可。從IGBT,SiC碳化硅,到汽車組件配套項目,所有的工藝真空全部采用了NASH真空泵系統(tǒng),不但性能優(yōu)越,而且安全可靠,確保365天連續(xù)無休運(yùn)行。

作為新能源汽車及其他工業(yè)領(lǐng)域重要的基礎(chǔ)性產(chǎn)品,功率半導(dǎo)體具有安全、環(huán)保、高效、低耗等優(yōu)勢。半導(dǎo)體行業(yè)中的蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕,真空吸附,測試設(shè)備,機(jī)械手,自動化真空清掃等鍵合工序里所需用真空為生產(chǎn)真空(中高真空);清掃真空(粗真空);工藝真空(粗真空)。部分還有要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零,以保護(hù)工件免受污染。工藝真空主要利用負(fù)壓吸附進(jìn)行工件搬運(yùn)或夾持,清掃真空主要利用負(fù)壓與大氣壓差進(jìn)行液體或顆粒的清除或輸送,此類應(yīng)用中液環(huán)真空泵和多級離心風(fēng)機(jī)是非常關(guān)鍵的生產(chǎn)輔助設(shè)備。

半導(dǎo)體行業(yè)的工藝特性,要求系統(tǒng)絕對無油,對設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性要求也比較高。 作為英格索蘭壓力與真空事業(yè)部旗下核心品牌,NASH液環(huán)真空泵安全可靠,100%無油,完全滿足半導(dǎo)體行業(yè)的工藝真空要求。株洲中車時代電氣擁有一流的功率半導(dǎo)體生產(chǎn)線,形成從設(shè)計、制造、封裝與測試等全套能力。其中總投資35億元的株洲中車時代電氣汽車組件配套建設(shè)項目,選用了2套NASH 2BW液環(huán)真空系統(tǒng),目前設(shè)備安裝調(diào)試完畢,機(jī)組運(yùn)行穩(wěn)定。該項目全部產(chǎn)能將用于新能源汽車用基材及組件生產(chǎn),整體提升了時代電氣功率半導(dǎo)體工藝平臺及生產(chǎn)制造能力,滿足新能源汽車領(lǐng)域巨大市場需求,進(jìn)一步做大做強(qiáng)做優(yōu)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

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我國每年約消耗全球40%的功率半導(dǎo)體器件,是全球最大的功率半導(dǎo)體需求國。除在新能源汽車領(lǐng)域外,功率半導(dǎo)體產(chǎn)品還可以為智能電網(wǎng)、新能源發(fā)電、智能家電等工業(yè)領(lǐng)域帶來新的發(fā)展動力。隨著高鐵技術(shù)自主化進(jìn)程,尤其芯片和半導(dǎo)體的國產(chǎn)化,未來NASH將持續(xù)跟進(jìn),提供創(chuàng)新的產(chǎn)品和服務(wù),助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速穩(wěn)健發(fā)展。

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